勻膠機

    德國SPS-EUROPE公司勻膠機具有轉速穩定,啟動快速,塗膠一致性和均勻性好等特點,廣泛應用於半導體、化工材料、矽片、晶片、基片、導電玻璃等工藝製版表麵塗覆。
  1. 詳細信息

工作原理

勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的塗在基片上,勻膠機常用於各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜製作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯係數而不同,也和旋轉速度及時間有關。

獨有特征

可編程全尺寸彩色觸摸屏控製器,可拆卸,耐化學試劑腐蝕。速度、加速和時間可編程;無限量程序存儲空間,可存儲旋塗多步驟工作協議,具有協議密保功能。

可編程轉速範圍: 1rpm-12,000rpm,轉速參數設置範圍廣,高精確性旋轉速度 (± 0.1 rpm)。

數字電機控製,帶增速數字顯示信號反饋,以避免轉速過量,從而提升塗膜的品質。

防靜電PET透明襯套,杜絕工作倉室的交叉汙染。

圖片2.png一體化結構設計,殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質,傳動係統采用工程塑料材質,壽命長耐腐蝕。

采用經過熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動將蓋子固定在理想位置,玻璃蓋上帶注射器固定架和氮氣擴散器,注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學試劑,氮氣擴散器在旋塗過程可注入到工作艙氮氣/氬氣,工作艙環境可控。

安全互鎖裝置:工作艙蓋鎖止,艙蓋打開旋轉自動停止,真空不足或沒有真空旋轉自動停止,過載保護。

USB端口:可上傳和下載旋塗協議和軟件。

三個外接控製端口,可用於接入注入單元自動控製,氮氣擴散器控製等。

產品通過CE認證。

技術參數

 


SPN150i

SPN200i

控製方式

全彩觸摸屏控製界麵

全彩觸摸屏控製界麵

結構材質

聚丙烯(NPP-H)材質

聚丙烯(NPP-H)材質

旋轉速度

1-12000rpm ±1rpm steps

1-12000rpm ±1rpm steps

旋轉精度

±0.1rpm

±0.1rpm

旋轉方向

順時針,逆時針,交換擺動

順時針,逆時針,交換擺動

加速/減速

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

旋轉時間

 0.1-99999秒/步

 0.1-99999秒/步

基片範圍

160mm 或6"直徑或4"x4"方片

260mm 或6"直徑或6"x6"方片

腔體直徑

202mm

302mm

外接控製端口

3個

3個

真空開關

外形尺寸

27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

380x559x307cm(WxDxH)


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