CIF生產型188金宝搏app官网 CPC-80/120/150

    CIF推出的CPC係列生產型188金宝搏app官网 是為研發型客戶和工業級客戶而設計的等離子體表麵處理設備,配置豐富,且真空腔體裏可分層,適合大多數生產場景。適用於等離子清洗,活化以及刻蝕等多種應用,設備可在嚴苛環境下穩定運行,產品穩定,樣品處理重複性一致性好。
  1. 詳細信息

產品特點:

PLC工控機控製整個清洗過程,全自動進行。

7寸彩色觸摸屏互動操作界麵,實時工作參數狀態直觀顯示。

手動、自動兩種工作模式。

數字流量計控製,控製更準確標配雙路氣體輸送係統,可選多氣路氣體輸送係統,氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

處理高效均勻,效率高,工藝重複性好。

合理的結構設計,設備占用空間小。

可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。

樣品處理溫度熱損傷和熱氧化

使用成本低、耗損小

產品性能穩定,安裝與維護簡便方便。

安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

技術參數:

型號

CPC-80

CPC-120

CPC-150

艙體尺寸

W400xH400xD500mm

W500xH500xD450mm

W500xH500xD60mm

艙體容積

80L

120L

150L

有效尺寸

W400xD450

W500xxD400mm

W500xxD550mm

電極分布

6層

8-10層

10-15層

射頻電源

13.56MHz0-600W 

13.56MHz0-1000

3.56MHz0-1000

匹配器

自動匹配

1.2A

時間設定

1-99分59秒

氣體穩定時間

1分鍾

真空度

100pa以內

激發方式

電容式

控製係統

7寸PLC觸摸屏控製

工藝氣體

2氣路 MFC(可選裝3路)

真空泵

抽速約40m3/h

抽速約60m3/h

抽速約60m3/h

AC380V 50-60Hz

AC380V 50-60Hz

AC380V 50-60Hz