CIF透射電鏡樣品杆清洗機

    CIF透射電鏡(TEM)樣品杆清洗機采用雙等離子清洗源設計,自動切換,一機多用,清洗快速高效。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用於TEM透射電鏡樣品杆的等離子體清洗和真空檢漏用途。
  1. 詳細信息


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產品特點

雙等離子清洗源

一機多用

快速高效低損傷

 

技術參數

產品型號

CIF-TEM

等離子電源

13.56MHz等離子射頻電源,射頻功率5-150W可調


遠程等離子源,自動匹配器

清洗室

清洗室尺寸(長X寬X高)Φ150XH150mm

清洗數量

可同時清洗3支TEM樣品杆

適配品牌

THERMO FISHERFEI)、日立HITACHI、捷歐路JEOL

氣體控製

標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分自動控製氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空控製

質量流量計(MFC)美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量範圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控製,中英文互動操作界麵

電源

220V,50/60Hz,300W

質量保證

二年質保,終身維護

真空泵

Agilent 、IDP-3渦輪式真空幹泵


最大入口壓力1.0個大氣壓(0psig),最大出口壓力1.4個大氣壓(6.5psig)


最高抽速60L/min,極限真空3.3 x 10-1 mbar


KF16入口接口